왜 중요한가
식각은 포토공정에서 만든 패턴을 실제 막 구조로 옮기는 공정입니다. 필요한 부분은 남기고 불필요한 박막만 제거해야 하므로 선택비, 균일도, 프로파일 제어가 중요합니다.
Etching Process
식각 공정
식각은 포토공정에서 만든 패턴을 실제 막 구조로 옮기는 단계입니다. 필요한 부분은 남기고 불필요한 막을 제거해야 하므로 선택비, 균일도, 프로파일 제어가 수율과 직결됩니다.
핵심 개념
- 건식식각은 방향성 제어가 강하고, 습식식각은 화학 반응과 균일성이 중요합니다.
- Plasma, Selectivity, Endpoint, Over Etch는 식각 조건을 이해하는 기본 언어입니다.
- 과식각, 언더컷, 잔류물은 CD와 후속 증착 품질에 영향을 줍니다.
실무와 다음 학습
식각 장비는 챔버 상태, 가스, RF power, pressure 같은 변수에 민감합니다. 장비기술 직무에서는 PM과 troubleshooting, 공정기술 직무에서는 조건 최적화와 결함 원인 분석으로 이어집니다.